半导体制造洁净厂房对温度,湿度有要求,一般是温度22~28 湿度45~60.我想问下为什么?不要简单回答什么ESD控制之类的 我要原理
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/01 15:54:19
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不要简单回答什么ESD控制之类的 我要原理
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主要有两个方面的原因:一是保证半导体表面的清洁度,以免水汽等的沾污;二是工艺要求,要保证半导体表面干燥,以免涂胶时产生胶膜脱落等.
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