想请问一下知道的朋友们,高纯化学试剂产品在半导体分立器件生产的那个环节或工艺流程中使用到,主要有那些品种呢?比如肖特基的二极管,可控硅,开关晶体管之类的在生产中会用到吗?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/06/30 00:08:18
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绝对用得着 只要是半导体工艺就需要, 需要的工艺嘛,包括清洗工艺、腐蚀工艺等.需要的化学试剂等级嘛,分析纯、MOS纯、CMOS-I、CMOS-II等等,CD尺寸越高,需要的化学试剂等级越高,颗粒尺寸要求越小.需要的化学试剂种类有:硫酸、盐酸、氨水、双氧水、氢氟酸、冰乙酸、硝酸等等.
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