多晶硅精馏为什么要用氢气保压?有些用氮气,有些用氢气。是以什么来决定的/
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/01 07:24:11
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多晶硅精馏为什么要用氢气保压?有些用氮气,有些用氢气。是以什么来决定的/
多晶硅精馏为什么要用氢气保压?
有些用氮气,有些用氢气。是以什么来决定的/
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使用氮气保压,可以使微量的氮气溶解在三氯氢硅中,增加后续还原尾气中的氮含量.使用氢气则可不免系统氮含量的富集.但氢气保压没有氮气保压安全.
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